机器视觉在拉单晶硅过程中的应用排污管遮光罩真空炉塑料链条铅笔裤Rra

2 技术规格

· 可对4、6、8、12英寸的单晶硅棒进行测量。

· 可自动对引晶——放肩——收肩——等径过程中的晶体直径进行测量。

· 可对坩埚中的液面高度进行测量。

· 可检藁城测晶种（籽晶）与液面的接触状态。

· 测量精度 0.1 mm。（注：按标准相机配置，采集分辨率1392×1040；可根据用户要求配置相机。）

· 测量速率：每秒15个数据。

3 算法特点

· 亚像素的边缘检测算法，精确检测出固液交界面的光圈上的点列。

· 高精度的椭圆拟合算法，可剔除晶癖线上的点、避免硅棒晃动的影响，引擎支架准确的得到光圈的直径和中心。

· 采用FIR数字滤波器（Chebyshev最佳一致逼近）进行数据后处理，进一步去除由硅棒转动而产生的噪声，输出高信噪比的信号。

· 可根据用户需求定制特殊的检测项目。

4 软件特色

1) 可任意增加新的检测品种，只需重新设置参数即可。

2) 产品配置可保“1035”时期存，程序运行时选择待测产品的型号即可导入其配置参数。

3) 可手动或自动保存图像，并可设定最大保存数。

4) 可对已保存的图像进行回放，并查看图像处如果需实行较为精确的计算理结果。

5) 在屏幕上直观的显示检测结果和状态信息，并可在不同的视图显示模式中切换。

6) 人机界面简单：只需大致调整处理区域并设置少量参数即可。

7) 有以下几点供参考： ◆ 夹具是不是使用方便、安全参数设置具有密码保护功能。

8) 自动软键盘，方便触摸屏操作。

9) 程序界面显示当前产品型号。

· 产品选择

· 图像参数设置

· 系统参数设置（力控组态软件通信设置）

· 拉晶全过程

· 数据滤波

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